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根據日本經濟產業省最新公布數據，日本5月份本土半導體設備產值達到1430.39億日元，較去年同期增長23.3%。其中：

晶圓制造設備：產值23.27億日元，    同比增長5.2%

晶圓加工設備：產值1101.50億日元，同比增長33.3%

封裝測試設備：產值55.06億日元，    同比增長-64.84%

其它相關設備：產值250.56億日元，  同比增長60.02%

具體信息見下面組圖：

為方便大家進一步參考，我將原始數據也列在下面：

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